就在今天 ，逐渐说在上海复工复产的快速推进 ，东方晶源积极组织形成设备交付其它工作 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键点尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付说在上海每个客户。这一次出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机在其他国家知名晶圆代工厂后 ，随后斩获头部每个客户的青睐和斩获。另一诸强化自身 ，标志着东方晶源硬件其产品进人批量交付三大模式。
这一次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515 ，面向300mm硅片工艺制程 ，除有着该系列其产品惯大多高灵敏度电性和物理缺陷检测、能够有效其他解决好28nm及至少良率其他解决好、自主创新的结构 高性能缺陷检测引擎（DNA最终数据库）、基于深度来学习的缺陷自动分类（ADC）算法等其产品特点外 ，东方晶源研发公司团队都在上一代其产品的基于上优化随后升级 ，使SEpA-i515有着更高的TPT和更优的其它平台整体设计 ，设备运行效率、性能指标均有大幅整体整体水准。则是则是 ，上一代其产品SEpA-i505 目前已在在其他国家头部晶圆代工厂量产三个月 ，其产品性能及稳定性斩获充分验证。
另一台交付的其产品为关键点尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410 ，面向300mm硅片工艺制程 ，采取先进的电子束成像子系统和高速硅片传输方案 ，配上精准的量测算法 ，可实现基于 高重复精度、高分辨率及高产能的关键点尺寸量测。该设备自年初6月底进人在其他国家头部晶圆代工厂创下产线验证进展顺利 ，阶段性验收成果斩获每个客户斩获。
东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的其他国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目项目 ，后经数年攻坚克难 ，突破多项核心关键点有关技术 ，从零部件到整机整体设计制造 ，均有着但是自主知识产权 ，填补在其他国家空白。目前已 ，两款设备进人批量交付三大模式 ，产业化进程拿到丰硕成果。
这一次设备交付的每个客户所在旁边海从目前我国集成电路产业有着举足轻重的地位 ，目前已目前已他成 在其他国家集成电路产业综合水准高、产业链完整、产业生态环境中会更好集聚地他成 。东方晶源变得看重在说在上海的加速发展和布局 ，继计算光刻免费软件（OPC）进人说在上海头部晶圆代工企业中后 ，硬件其产品正式正式宣布登陆说在上海。为会更好资源 的提供服务至少海为核心的长三角每个客户 ，东方晶源正式宣布年初8月份在说在上海设立子该公司 ，子系统形成说在上海总部、说在上海子该公司和说在上海子该公司为核心的三地布局 ，强化企业中贴近产业前沿高地 ，为集成电路企业中中带去优质的其产品和提供服务 ，会更好资源 的与上下游企业中携手强化产业加速发展的另一诸强化自身 ，构筑企业中强化自身竞争壁垒。
东方晶源自正式宣布成立创下 ，专注于芯片制造关键点环节的良率控制中和整体整体水准三大领域 ，子系统形成以计算光刻免费软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的其产品矩阵 ，并向会更好资源 有关三大领域 积极布局。硬件诸强化自身 ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发其它工作 ，强化夯的确在其他国家电子束检测三大领域 领先的在其他国家市场地位和核心有关技术明显优势。免费软件诸强化自身 ，光刻工艺严格仿真免费软件PanSim目前已在每个客户侧采取验证 ，明年初7月底release V1.0版本。将来 ，东方晶源将立足通用免费软件其它平台和检测装备两大三大领域 ，寻求横纵向加速发展机遇 ，为每个客户公司提供 变得多样化的其产品 ，向着在其他国家集成电路三大领域 良率管理领导者的长远目标奋进。