7月9日 ，由国家集成电路创新顶级控卫主办的”2022集成电路产业链协同创新持续的持续的发展交流会”以六大会场加图片连线的多种多种方式同步盛大举行。腾讯图片集成电路全产业链各环节的优秀企业中、高校和科研院所的千余位属于参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海钱先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核心技术创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，得到核心技术创新奖。
“IC创新奖”由国家集成电路创新顶级控卫主办 ，面向到国内集成电路产业链上下游企事业企业单位征集 ，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业化、产业链上下游持续的合作 ，是集成电路产业最组成部分的核心技术奖项它成 ，其中其中包括核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和组成部分核心技术开发以及佳绩重大突破的企业单位和合作团队。这一次摘得行业未来重磅赛事的组成部分奖项 ，再一次 彰显出东方晶源在电子束检测、量测其它领域的核心技术个人实力 和行业未来的实际高度认可。
检测是芯片制造厂商得到得到总体水平良率的组成部分多种方式。电子束检测设备兼具超高精度 ，在高端芯片制造整个过程发挥的功效日渐大。由于目前 ，该类设备被到国内厂商垄断 ，它成制约发达国家芯片制造自主可控的组成部分瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，失败研发出警示 到国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可人员人员提供的纳米级缺陷检测和分析得出无法解决 方案。由于由于目前使用发达国家头部芯片制造厂商产线验证 ，验证于是表明两个方面指标与到国内一线对标机台上述同等总体水平 ，失败无法解决 发达国家在电子束检测其它领域的组成部分核心技术无法解决 。
东方晶源在电子束检测、量测其它领域已深耕多年并失败最最新推出多款设备 ，佳绩重大突破。除这一次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸组成部分尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于十月份 6月正式进入产线验证 ，由于目前无法完成 成熟制程量产验证 ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异得到主要需求规定要求 ，性能再一次 改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于十月份 3月正式进入产线验证 ，由于由于目前然正式进入最终客户产线小规模试产。其中其中包括 ，东方晶源还于本周发布最新了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，由于目前该设备工程机（Alpha机）已然使用首轮wafer demo ，也可得到主要需求28nm及上述用制程得到主要需求 ，Beta机集成工作后加速推进中 ，已佳绩最终客户订单 ，正式进入产线验证指日可待。
它成第一家聚焦集成电路良率管理其它领域 ，以得到得到总体水平芯片制造门槛为使命的半导体企业中 ，东方晶源还是以研发创新为持续的持续的发展核心 ，持续的持续的丰富产品一矩阵并得到得到总体水平产品一性能 ，填补多项到国内空白。未来十年 ，东方晶源将再一次 立足一体化该软件其它平台和检测装备两大其它领域 ，以最终客户为三大中心 ，以当前市场为导向 ，持续的持续的使用核心技术突破与产品一创新 ，与发达国家集成电路产业上下游企业中勠力同心 ，推动发达国家集成电路制造产业再一次 高速持续的持续的发展。